1959年*臺100KV電子顯微鏡1975年*臺掃描電子顯微鏡DX3在中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠（現(xiàn)北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司）研發(fā)成功。
掃描電子顯微鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
掃描電子顯微鏡根據(jù)不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息；對x射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。正因如此，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡對于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料的全面特征的描述，掃描電子顯微鏡是至關(guān)重要的。
隨著電子技術(shù)和計算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，不僅實現(xiàn)了數(shù)字化圖像，而且電鏡所有的功能都已經(jīng)實現(xiàn)了數(shù)字化控制。現(xiàn)代掃描電鏡電器控制系統(tǒng)高度集成化，掃描電鏡結(jié)構(gòu)越來越緊湊，自動化功能越來越高，極大改善了人機(jī)操作環(huán)境。目前掃描電子顯微鏡的zui主要組合分析功能有:X射線顯微分析系統(tǒng)（即能譜儀,EDS），主要用于元素的定性和定量分析，并可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息；電子背散射系統(tǒng)（即結(jié)晶學(xué)分析系統(tǒng)），主要用于晶體和礦物的研究。
