飛納電鏡帶你感受噴鍍及不噴鍍對(duì)掃描電鏡成像的影響

對(duì)導(dǎo)電性不好的樣品進(jìn)行噴鍍處理，一是可避免材料荷電。所謂荷電是入射電子的量大于產(chǎn)生的二次電子或者背散射電子的數(shù)量，從而導(dǎo)致在材料表面形成電子的富集（產(chǎn)生負(fù)電位）。由于負(fù)負(fù)相斥的原理，使得后面的入射電子不能在材料表面會(huì)聚，產(chǎn)生一系列的后果，例如聚焦不太容易聚清楚，表面形成一道一道白色的二次電子突然放電的現(xiàn)象。因此要得到滿意的形貌，應(yīng)該在材料表面形成一個(gè)有效的電子通路，即在樣品臺(tái)和材料表面有導(dǎo)電通路。*的辦法就是在表面鍍膜，這就是為什么掃描電鏡要鍍膜的原因。另一個(gè)原因是增加二次電子發(fā)射率，使圖像信噪比增強(qiáng)，使圖片看上去更漂亮。

但是對(duì)于某些樣品，噴鍍處理后不能準(zhǔn)確反映樣品的真實(shí)形態(tài)。例如對(duì)涂層樣品來(lái)說(shuō)，背散射電子情況下，由于電鏡背散射電子成像原理：圖像亮度和元素原子序數(shù)成正比，原子序數(shù)越高，圖像越亮，樣品經(jīng)過(guò)噴金處理后（圖 1），表面覆蓋了一層金，圖像亮度基本一致，很難看出來(lái)涂層的位置。未噴金（圖 2），能明顯分辯涂層的位置和厚度，因此，對(duì)于涂層樣品來(lái)說(shuō)，背散射電子情況下，應(yīng)選擇不噴金直接觀測(cè)。

圖 1 涂層樣品放大倍數(shù) 500X （噴金）

圖 2 涂層樣品放大倍數(shù) 500X （未噴金）