在掃描電鏡應用中，低真空技術可以實現對非導電樣品的直接觀察，無需噴鍍貴金屬，以免造成樣品表面細節被掩蓋、尺寸發生改變，成分信息減弱或消失等情況。

低真空技術是利用入射電子束電離樣品倉內空氣分子產生正離子和自由電子（如圖1 所示），正離子在樣品表面荷電所形成的負電場的吸引下與負電荷產生中和，從而消除樣品表面荷電。

由于樣品表面荷電是因為入射電子束不能通過非導電樣品導走而產生的，因此樣品表面荷電會隨著入射電子束對樣品的掃描而不斷產生，同時入射電子束也會持續不斷電離空氣分子，從而產生正離子。當二者數量達到動態平衡時，樣品表面荷電現象消失。

如圖2 所示，利用掃描電鏡無噴鍍直接觀察蛋殼膜，0.1Pa 真空度下荷電嚴重，60Pa真空度下荷電消失。

圖2 利用低真空原理消除蛋殼膜表面荷電